仪器名称：扫描电子显微镜

仪器型号：Nova NanoSEM450

制造商名称：FEI

购置时间：2013年

放置地点：北区3#实验楼架空层024

仪器主要功能及描述：

Nova NanoSEM 450扫描电子显微镜提供在纳米尺度下对材料表征和分析的解决方案。它简单的样品导航和电子束校准操作允许用户在最短的时间内获得最佳的测试结果。Nova NanoSEM 450拥有先进的光学和样品台控制系统，允许用户从任意角度获得样品信息。双模式（磁透镜浸入式和无磁式）提供各种样品极佳的对比度和分辨率。磁透镜浸入式能收集>95%的二次电子，这极大的提高了测试结果的信噪比。而同时采集二次电子和背散射电子可以实现对样品形貌和材料的轻松分辩。结合使用背散射探测器、浸入式磁透镜和减速模式更是可以实现对导电性差的样品表面的高精度成像。

该仪器具有超高分辨率，能观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像，配备超大窗口CCD探头的高性能X射线能谱仪，同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般钨灯丝扫描电镜相比，它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌，对金属、无机非金属、高分子、纳米等材料的表面超微结构形貌进行分析。

主要技术指标：

1、分辨率

高真空模式 1.0nm @ 15kV

1.8nm @ 1kV

0.8nm @ 30kV(STEM探测器)

低真空模式 1.5nm @ 10kV(Helix探测器)

1.8nm @ 3kV(Helix探测器)

2、加速电压200V - 30kV，连续可调

3、电子束流范围0.3pA - 100nA,连续可调

主要特点：

1.超高分辨率Schottky场发射电子枪

2.全球唯一的超高分辨率低真空场发射扫描电镜，具有高真空和低真空(<200Pa)两种真空模式。

3.对容易污染、容易电荷积累的纳米材料和纳米器件进行观察和分析。

4.完全无油真空系统。

5.可选配电子束曝光、电子束诱导沉积等纳米设计/加工功能。

6.FEI公司基于Windows XP的-xT用户界面。

仪器工作状态：正常

预约联系人：郝老师

仪器学习视频：

链接：//pan.baidu.com/s/14b3YKVF8nQPY4A5FxrhAjw

提取码：dygh